更新時間：2022-10-11
日本(ben)科賦樂(le)金屬密封式質量流量控制(zhi)器(qi)使用時(shi)進氣管道(dao)上建(jian)議安(an)裝(zhuang)上的(de)過濾器(qi)、油(you)水分(fen)離器(qi)使用，保(bao)證(zheng)氣體的(de)干(gan)燥干(gan)凈（濕度不超過90%(一(yi)定不能進水)、雜質粉塵(chen)不超過20微米）。
| 產地 | 進口 | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 質保 | 1年 |
日本科賦樂金屬密封式質量流量控制器
日本KOFLOC5400系列質量流量控制器-金屬密封
金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環境下
±15VDC供(gong)電(dian)性能穩定，0-5V模擬(ni)信(xin)號更加(jia)通用
日本科賦樂金屬密封式質量流量控制器
性能參數
| 量程(N2) | 10SCCM-20SLPM(另(ling)外50SLM |
| 精度 | ±1.0%FS |
| 重復性 | ±0.2%FS |
| 響應時間 | 1秒以內 |
| 耐壓 | 1.0Mpa |
| 進口大壓力 | O.3Mpa |
| 動作壓差 | 0.05-0.3Mpa |
| 泄漏率 | 1*10-11pa·m³/s以下 |
| 溫度范圍 | 5-45℃ |
| 濕度范圍 | 10-90%RH(不(bu)能(neng)結露) |
| 材質 | 本體SUS316L |
| 密封圈SUS316L、PTFE | |
| 電氣接口 | DB9 |
| 模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 |
| 供電 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
| 管路連接 | 標配1/4UJR |
| 選配1/8UJR | |
| 重量 | 約1000g |
★使用(yong)注意
一(yi)：進氣管道上(shang)建(jian)議安裝上(shang)的(de)過濾器(qi)、油水分離器(qi)使用(yong)，保證(zheng)氣體的(de)干燥(zao)干凈(jing)（濕度不(bu)(bu)超過90%(一(yi)定不(bu)(bu)能進水)、雜質粉塵不(bu)(bu)超過20微米）。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接(jie)頭(tou)上，不(bu)能噴在儀表或電氣(qi)插頭(tou)上。
三：安裝前，請將(jiang)設(she)備(bei)管路進行整體(ti)吹掃。
四：耐(nai)壓(ya)1.0Mpa，進口大(da)壓(ya)力5公斤。
五：需要進行(xing)零點漂移清零的(de)時候，確認進/出口沒流(liu)量(liang)沒壓力下(xia) 再操作。
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陳工