更新時間:2022-10-11
日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器日本KOFLOC5100系列質量流量控制器-內拋光金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下內部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質±15VDC供電性能穩定,0-5V模擬信號更加通用適用于高真空、半導體以及對管路潔凈(jing)度高要(yao)求場合(he)
產地 | 進口 | 加工定制 | 是 |
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質保 | 1年 |
日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
日本KOFLOC5100系列質量流量控制器-內拋光
金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
內部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質
±15VDC供電性能穩定,0-5V模擬信號更加通用
適用于高真空、半導體以及對管路潔凈度高要(yao)求場合
日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
性能參數:
量程(N2) | 1SCCM-20SLPM |
精度 | ±1.0%FS |
重復性 | ±0.2%FS |
響應時間 | 1秒以內 |
耐壓 | 1.0Mpa |
進口大壓力 | O.3Mpa |
動作壓差 | 0.05-0.3Mpa |
泄漏率 | 1*10-11pa·m³/s以(yi)下 |
內拋光 | Ra≤0.1 |
溫度范圍 | 5-45℃ |
濕度范圍 | 10-90%RH(不(bu)能結露) |
材質 | 本體SUS316L |
密(mi)封圈SUS316L、PTFE | |
電氣接口 | DB9 |
模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 |
供電 | +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA; |
管路連接 | 標配1/4UJR |
選配1/8UJR | |
重量 | 約1000g |
★使用注意
一:進(jin)氣管道上(shang)建議安(an)裝上(shang)的過(guo)濾器(qi)、油水分離器(qi)使用,保(bao)證(zheng)氣體的干(gan)(gan)燥干(gan)(gan)凈《濕度(du)不(bu)超過(guo)90%(一定不(bu)能(neng)進(jin)水)、雜質(zhi)粉(fen)塵不(bu)超過(guo)20微米》。
二:用肥皂(zao)水(shui)對管(guan)路進行泄漏(lou)檢測(ce)時,只能將肥皂(zao)水(shui)噴灑在(zai)管(guan)路接頭(tou)上,不(bu)能噴在(zai)儀表或電氣(qi)插頭(tou)上。
三:安裝前,請將設備管路進行整體(ti)吹(chui)掃(sao)。
四(si):耐壓(ya)1.0Mpa,進口(kou)大壓(ya)力5公斤(jin)。
五:需(xu)要進行零點漂移清零的時(shi)候(hou),確認進/出(chu)口(kou)沒(mei)流量沒(mei)壓力下 再操作(zuo)。