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日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器

更新時間:2022-10-11

簡要描述:

日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
日本KOFLOC5100系列質量流量控制器-內拋光
金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
內部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質
±15VDC供電性能穩定,0-5V模擬信號更加通用
適用于高真空、半導體以及對管路潔凈(jing)度高要(yao)求場合(he)

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日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
產地進口加工定制
質保1年

日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
日本KOFLOC5100系列質量流量控制器-內拋光
金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
內部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質
±15VDC供電性能穩定,0-5V模擬信號更加通用
適用于高真空、半導體以及對管路潔凈度高要(yao)求場合

日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器

性能參數:

 

量程(N2)

1SCCM-20SLPM

精度

±1.0%FS

重復性

±0.2%FS

響應時間

1秒以內

耐壓

1.0Mpa

進口大壓力

O.3Mpa

動作壓差

0.05-0.3Mpa

泄漏率

1*10-11pa·m³/s以(yi)下

內拋光

Ra≤0.1

溫度范圍

5-45℃

濕度范圍

10-90%RH(不(bu)能結露)

材質

本體SUS316L

 

密(mi)封圈SUS316L、PTFE

電氣接口

DB9

模擬信號

0-5V輸入/輸出

供電

+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

管路連接

標配1/4UJR

 

選配1/8UJR

重量

約1000g

 

    ★使用注意

 

一:進(jin)氣管道上(shang)建議安(an)裝上(shang)的過(guo)濾器(qi)、油水分離器(qi)使用,保(bao)證(zheng)氣體的干(gan)(gan)燥干(gan)(gan)凈《濕度(du)不(bu)超過(guo)90%(一定不(bu)能(neng)進(jin)水)、雜質(zhi)粉(fen)塵不(bu)超過(guo)20微米》。

二:用肥皂(zao)水(shui)對管(guan)路進行泄漏(lou)檢測(ce)時,只能將肥皂(zao)水(shui)噴灑在(zai)管(guan)路接頭(tou)上,不(bu)能噴在(zai)儀表或電氣(qi)插頭(tou)上。

三:安裝前,請將設備管路進行整體(ti)吹(chui)掃(sao)。

四(si):耐壓(ya)1.0Mpa,進口(kou)大壓(ya)力5公斤(jin)。

五:需(xu)要進行零點漂移清零的時(shi)候(hou),確認進/出(chu)口(kou)沒(mei)流量沒(mei)壓力下 再操作(zuo)。

 

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