格里爾斯差壓式質量流量計

GRY-56系列差壓式質量流量計/控制器采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，可以同時顯示和輸出：瞬時 流量、累計流量、壓力、溫度等。

氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的應用

大多數傳統的真空鍍膜工具使用下游壓力控制來維持真空氣體的壓力，這就需要用到氣體質量流量計和氣體質量流量控制器。

但是安裝節流閥可能要花費數千美元，還需要單獨的控制模塊來驅動閥門。節流閥設置在更換氣體或等待氣體沉淀時，也會造成延遲。

格里爾斯差壓式質量流量計

性能參數：

工作溫度+10~+50℃

大工作壓力3MPa/10MPa

對安裝方式/方向的要求>1L/min量程，閥門須垂直安裝

閥門等級閥門長閉

防護等級IP40

材質不銹鋼

信號單色LCD顯示屏同時顯示流量、設定

數字輸出信號RS485/PROFIBUS

模擬輸入信號0-5Vdc / 4-20mA

模擬輸出信號0-5Vdc / 4-20mA

電信號接口DB15

供電電壓24-30Vdc

供電電流0.750Amp

規格測控范圍100SCCM~3000SLM

精度（調零后標準條件下）±1%F.S

重復性±1%F.S

零點漂移&滿量程漂移0.02% F.S/ ºC/Atm

工作范圍/量程可調比2% ~ F.S / 50:1

大可測流量 F.S (可控制) 

典型響應時間200 毫秒(可調整) 

啟動預熱時間< 5 秒