科賦樂KOFLOC-3660質量流量控制器

更新時間：2023-05-15

簡要描述：

科賦樂KOFLOC-3660質量流量控制器適用于高真空(kong)、半(ban)導體、劇毒、強腐蝕(shi)氣體環境下(xia)，±15VDC供電性能穩定，0-5V模擬信號更加(jia)通用

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產地	進口	加工定制	否
質保	1年

日本科賦樂KOFLOC-3660質量流量控制器的概述：

3660系列設(she)計精密，成本較低。廣(guang)泛用于各個不(bu)同的(de)領域從實(shi)(shi)驗(yan)室(shi)和研究(jiu)開發項目到各種儀(yi)器設(she)備的(de)標準采用機種發揮了很好的(de)實(shi)(shi)際效果，另(ling)外還有有各種衍生功能可選

日本科賦樂KOFLOC-3660質量流量控制器的性能參數

	3660	3665
量程(N2)	10SCCM-20SLPM	30-150SLPM
精度	±1.0%FS	±1.5%FS
有效范圍	2-	5-
重復性	±0.5%FS
響應時間	2秒	3秒
動作壓差	50-300Kpa	150-300Kpa
	另有低壓差、高壓差產(chan)品可(ke)選(xuan)
耐壓	1.0Mpa
泄漏率	1*10-8pa·m3/s以下
溫度范圍	5-45℃
濕度范圍	10-90%RH(不能結露)
材質	本體(ti)SUS316、SUS316L、磁(ci)性材料等
	密(mi)封圈(quan)VITON，選配NBR或(huo)FKM
電氣接口	DB9
模擬信號	0-5V輸入/輸出
供電	+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)250mA；
管路連接	標配1/4F9	標配3/8F9
	選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4	選配(pei)1/2F9、3/8UJR、RC3/8
重量	約1000g	約1500g

日本科賦樂KOFLOC質量流量控制器

金屬密封(feng)，泄漏(lou)率1*10-11pa·m3/s以下

適用于(yu)高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣(qi)體環境(jing)下

±15VDC供電性(xing)能穩定(ding)，0-5V模擬(ni)信(xin)號更加通用

電氣連接

	5400質量流量控制器
量程(N2)	10SCCM-20SLPM(另外50SLM)
精度	±1.0%FS
重復性	±0.2%FS
響應時間	1秒以內
耐壓	1.0Mpa
進口大壓力	O.3Mpa
動作壓差	0.05-0.3Mpa
泄漏率	1*10-11pa·m3/s以下
溫度范圍	5-45℃
濕度范圍	10-90%RH(不能結露(lu))
材質	本體SUS316L
材質	密封(feng)圈SUS316L、PTFE
電氣接口	DB9
模擬信號	0-5V輸入/輸出
供電	+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
管路連接	標配1/4UJR
管路連接	選配1/8UJR
重量	約1000g

電氣連接

針腳/顏色	定義
1針腳/棕色	閥門全開/全閉
2針腳/白色	0-5V輸出
3針腳/紅色	+15VDC
4針腳/黑色	電源COM
5針腳/黃色	-15VDC
6針腳/灰色	0-5V輸入
7針腳/綠色	輸出COM
8針腳/蘭色	輸入COM
9針腳/紫色	閥門電源輸出

日本科賦樂KOFLOC質量流量控制器使用注意：

一：進氣(qi)管(guan)道上建議安裝上的(de)過(guo)濾器(qi)、油水分離器(qi)使(shi)用(yong)，保證氣(qi)體(ti)的(de)干燥(zao)干凈《濕度(du)不超過(guo)90%(一定(ding)不能(neng)進水)、雜(za)質粉塵不超過(guo)20微米》。

二：用(yong)肥(fei)皂水對管路(lu)進行泄漏檢(jian)測時，只能將肥(fei)皂水噴灑在(zai)管路(lu)接頭上，不能噴在(zai)儀表或電氣插頭上。

三：安裝前(qian)，請(qing)將設備(bei)管路進行整體(ti)吹掃。

四(si)：耐(nai)壓1.0Mpa，進(jin)口大(da)壓力3公斤(jin)。

五(wu)：需要進行零點漂(piao)移清零的(de)時候，確認進/出(chu)口(kou)沒流量沒壓(ya)力下再操作。